宸微设备科技获得晶圆传输腔室及半导体加工设备专利可下降腔体温度确保工艺进程

2024-12-08 行业动态

金融界2024年10月25日音讯，国家知识产权局信息数据显现，宸微设备科技（姑苏）有限公司获得一项名为“晶圆传输腔室及半导体加工设备”的专利，授权公告号CN 221861596 U，请求日期为2024年1月。

专利摘要显现，本实用新型供给了一种晶圆传输腔室及半导体加工设备，包含腔体；以及设置于所述腔体上的降温设备，所述降温设备用于下降所述腔体内的温度。本实用新型供给的晶圆传输腔室，可下降腔体的温度，防止高温影响晶圆传输腔室内设置的机械手的惯例运用的寿数确保了工艺的进程。